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四氟化碳在常溫常壓下為無色無臭有輕微醚味的氣體。四氟化碳空氣中不燃燒，是比較穩定的無毒物質。但是在高溫時，或與可燃氣體一同燃燒時，四氟化碳分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。四氟化碳微溶于水，在25℃，101.325kPa時，水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗，太陽能電池的生產，激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態，印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。由于它的化學穩定性，四氟化碳可用于金屬冶煉。

產品名稱：四氟化碳

產品類別：其它未分類

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